在平板显现制作工艺中，颗粒污染与静电损害是影响良率的两大要害因素。跟着器材小型化与精细化开展，高密度集成电路的图形特征尺度及外表堆积层厚度已缩至微米级，这使得生产工艺对颗粒污染更为灵敏。基底外表颗粒堆积易引发点缺点乃至线缺点，直接引发产品良率下降。

  静电污染问题相同不容忽视。资料间电子能级差异导致触摸时发生电荷转移，由此发生的静电吸附（ESA）效应会强力吸附周围微粒，此类污染难以经过惯例清洁手法去除。此外，静电放电（ESD）与电磁搅扰引发的设备毛病也会对制程稳定性形成要挟。

  经过施行洁净室环境颗粒物实时监测体系，可及时辨认颗粒浓度超支危险，并采纳针对性防控办法。该计划能大大下降空气悬浮颗粒沉降形成的基底外表污染，一起缓解静电吸附（ESA）导致的次生污染，然后体系性提高产品良率。

  四方光电依托老练的光散射技能，开宣布OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在线或便携型粒子计数器。该产品线具有以下中心优势：☞选用工业级大功率线%的粒子辨认精度与计数功率

  ☞支撑多通道定制化粒径分级（规范装备含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm）

  ☞契合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等国际规范，适用于百级至十万级洁净环境☞该系列新产品已经过RoHS认证，在TFT-LCD阵列制程、OLED蒸镀工艺等要害制程环节完成规模化使用